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原子層沉積多少錢

原子層沉積多少錢

簡要描述:P 系列是 Forge Nano 針對工業包覆研發的粉末 ALD 負載系統,可實現 kg 級粉末批量包覆,是工業生產前理想的研發工具?!驹訉映练e多少錢】

產品型號: P 系列

所屬分類:原子層沉積

更新時間:2023-09-28

廠商性質:其他

詳情介紹
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產品新舊全新

P 系列粉末原子層沉積系統原子層沉積多少錢

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粉末包覆可有效提升材料性能與使用壽命,如鋰電正極或負極材料,經過表面包覆處理后在放電性能及循環使用壽命方面都有明顯提升,但目前工業的包覆手段以機械混合的干法為主,該方法包覆均勻性較差,性能提升有限。ALD 技術可實現高精度及均勻包覆,是理想的包覆手段。Forge Nano 針對粉末類材料比表面積大的特點,采用流化床技術實現粉末材料的流化,從而保證前驅體與粉末實現充分的接觸。P 系列是 Forge Nano 針對工業包覆研發的粉末 ALD 負載系統,可實現 kg 級粉末批量包覆,是工業生產前理想的研發工具。

 

產品規格原子層沉積多少錢

 

1. 前驅體通道:2-8

2. 腔室容量:0-600ml

3. 反應器溫度:450℃

4. 最高工藝溫度:200℃

5. 振動流化床反應器

6. 模塊:流化輔助,質譜,臭氧發生器,等離子體發生器

 

產品特點

 

P 系列是 Forge Nano 專為粉末 ALD 開發的研發級工具,可輕松實現 kg 的粉末包覆。使用流化床技術可保證粉末在反應器中的分散,有利于前驅體擴散。

圖片5.png

流化輔助

粉末在長時間存放或流化不充分時容易出現團聚,導致無法形成理想的流化態。因此利用流化輔助模塊,高剪切氣流以及振動反應器的設計可沖散團聚顆粒,確保分散效果。

 

分區加熱

所有前驅體源均可獨立加熱,保證運輸條件,這對于部分低蒸汽壓的前驅體以及敏感的基底材料非常重要。P 系列也擁有*的閥門控制系統,可以實現多通道前驅體輸運。

 

在線監測

P 系列配置了氣體在線分析系統,對 ALD 工藝的改善有較大幫助,使用者可通過氣體成分判斷反應的完成度。

 

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應用

鋰電池:鋰電正極或負極材料的包覆可有效提升其放電性能及使用壽命。常見的 NCM 與磷酸鐵鋰,在表面包覆 Al2O3 等氧化物薄膜后,在經過多次放電后,仍可保持較高的能量密度。

 

 

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3D 打?。?/strong>3D 打印粉末存在腐蝕及表面氧化的問題,會影響最終器件的性能。通過表面涂層改性,可有效延緩氧化及腐蝕。傳統的包覆方式是在器件表面進行 ALD 沉積,但對于 3D 打印粉末,直接對原材料粉末改性無疑是更有效的手段。

 

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催化:催化反應大多數是發生在材料表面的界面反應,因此對于催化劑材料進行表面構筑改性是有效的性能提升手段。利用 ALD 可以直接在粉末,纖維材料表面生長高活性納米涂層,另一種方法是利用模板法結合 ALD 在表面構筑特定結構,暴露活性位點。此外,也可以在特定的顆粒表面進行表面包覆,防止催化劑燒結團聚。

 

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