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藥物粉末包覆

藥物粉末包覆

簡要描述:THEIA 是一款高性能,穩定,靈活,可靠且安全的研發型原子層沉積系統,兼具工業生產解決方案的優勢。THEIA 可進行升級改造,從而滿足科學研究的各種需求,并實現從“研發"到“生產"的無縫銜接?!舅幬锓勰┌病?/p>

產品型號: THEIA

所屬分類:藥物粉末包覆

更新時間:2023-09-28

廠商性質:其他

詳情介紹
品牌其他品牌產地進口
產品新舊全新

THEIA 超快平面原子層沉積系統【藥物粉末包覆


 

theia.jpeg

THEIA 是一款高性能,穩定,靈活,可靠且安全的研發型原子層沉積系統,兼具工業生產解決方案的優勢。THEIA 可進行升級改造,從而滿足科學研究的各種需求,并實現從“研發”到“生產”的無縫銜接。

 

 

產品規格【藥物粉末包覆

1. SMFD-ALDTM 超快沉積:12-30 nm/min

2. 低維護周期:平均每 50 μm 沉積后維護一次

3. 閥門:可實現<1ms 開關控制,壽命可達 1 億次循環,在 220℃ 下長期穩定工作

4. 薄膜不均勻度<1%

5. 可容納 3 片 75-300mm 基片,300×300×10mm 的腔室

 

產品特點

THEIA 解決了困擾 ALD 工藝多年以來的問題:效率與維護。ALD 雖然擁有較好的膜厚控制與均一性,但因為效率不高,市場容量仍然低于 CVD。Forge Nano 擁有 SMFD-ALDTM 超快沉積技術,可實現快 12-30nm/min 的沉積效率,將 ALD 沉積效率提升到新的高度。同時實現前驅體高利用率以及低維護成本,與 CVD 相比,THEIA 的集成減排設計可以實現污染物“*”,避免了環境污染問題,節約大量成本,為 ALD 工藝提供了新的參考標準。

 

 

 

 

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